Čista soba mikroelektronike je posebno proizvodno okruženje koje osigurava kvalitet i efikasnost proizvoda u mikroelektronskoj industriji. Za ovaj projekat uzimaju se u obzir mnogi faktori kao što su prečišćavanje vazduha, temperatura, vlažnost, elektrostatička kontrola, kontrola buke i tako dalje.
Različite klase industrija primjene mikroelektronike čistih soba:
1.Proizvodnja integrisanih kola
- ISO 1 - 3: često se koristi u najnaprednijim procesima fotojetkanja, jetkanja i drugih, koji zahtijevaju izuzetno visoku kontrolu sitnih čestica, a mala kontaminacija može dovesti do oštećenja čipa.
- ISO 4 - 5: Pogodno za taloženje tankog filma, ionsku implantaciju i druge procese u proizvodnji čipova, a također ima stroge zahtjeve za kontrolu čestica.
2.Test inkapsulacije poluprovodnika
- ISO 6 - 7: Može ispuniti zahtjeve većine linkova za testiranje pakovanja, kao što je pakovanje čipova, funkcionalni test, itd.
3. Proizvodnja panel displeja
- ISO 5 - 6: Koristi se za premazivanje i ekspoziciju u proizvodnji LCD panela.
4. Proizvodnja elektronskih komponenti
- ISO 7 - 8: koristi se za proizvodnju elektronskih komponenti sa relativno niskim ekološkim zahtjevima, kao što su otpornici, kondenzatori, itd.
Ukratko, što je veća klasa čiste sobe, to je manji broj suspendovanih čestica u vazduhu koji se može kontrolisati, čistija je okolina i pogodnija za mikroelektronske proizvodne procese koji zahtevaju izuzetno stroga proizvodna okruženja. Međutim, čista soba niže klase pogodna je za proizvodne procese koji zahtijevaju relativno labav okoliš.
Glavni uređaji sistema za prečišćavanje vazduha čiste sobe mikroelektronike:
1. Filter za zrak
- Filter primarne efikasnosti: uglavnom se koristi za filtriranje većih čestica, kao što su prašina, kosa, itd., da igraju preliminarnu ulogu u pročišćavanju zraka.
- Filteri srednje efikasnosti: filtriraju čestice srednje veličine zagađivača i dodatno poboljšavaju čistoću zraka.
- HEPA filter: ključni uređaj za postizanje visoke čistoće ima visoku efikasnost filtracije za čestice iznad 0.3 mikrona
- Filter ultra visoke efikasnosti (ULPA filter): za čestice od 0.1 - 0.3 mikrona njegova efikasnost filtracije može biti iznad 99,999%, a često se koristi na mjestima sa izuzetno visokim zahtjevima za čistoćom.
2.Fan
- Odgovoran je za pokretanje protoka vazduha, omogućavajući da vazduh prolazi kroz filter i cirkuliše u čistoj prostoriji.
3.Duct
-koristi se za transport filtriranog zraka kako bi se osigurala ujednačena distribucija zraka u svim područjima čiste prostorije.
4. Jedinica za obradu svježeg zraka
- uvesti svježi zrak napolje, filtrirati ga i prilagoditi temperaturu i vlažnost u skladu sa potrebama čiste prostorije.
5. Jedinica za pročišćavanje zraka
-integriše različite funkcije pročišćavanja i kondicioniranja, kao što su filtracija, sterilizacija, odvlaživanje, ovlaživanje i tako dalje.
6. Statička komora pod pritiskom
-stabilizira protok zraka, smanjuje turbulenciju i buku strujanja zraka, te osigurava ravnomjeran protok zraka kroz filtere.
7. Prigušivač
- Smanjite buku koju stvaraju ventilatori i protok vazduha, obezbeđujući tiho radno okruženje
8. Senzori i kontroleri diferencijalnog pritiska
- Pratite razliku tlaka između različitih područja čiste prostorije kako biste osigurali da zrak struji u unaprijed određenom smjeru kako bi se spriječila unakrsna kontaminacija zagađivača.
Ovi uređaji rade zajedno kako bi osigurali da kvalitet zraka mikroelektronske čiste sobe dostigne potrebnu klasu čistoće.
Ključni koraci i tehničke točke mikroelektronskog inženjeringa čistih soba:
1. Planiranje dizajna: prema proizvodnom procesu i zahtjevima, odrediti klasu čiste prostorije, površinu, raspored itd. Istovremeno, put protoka osoblja, materijala i opreme, kao i projektovanje prečišćavanja zraka, klimatizacije i treba razmotriti sisteme osvetljenja.
2. Struktura zgrade: treba da ima dobre performanse zaptivanja i toplotne izolacije kako bi se smanjio uticaj spoljašnjeg okruženja na unutrašnjost. Istovremeno, potrebno je koristiti materijale koji ne stvaraju lako prašinu i statički elektricitet, kao što su nerđajući čelik i legura aluminijuma.
3. Sistem za pročišćavanje zraka: to je ključni dio mikroelektroničkog inženjeringa čistih prostorija. Obično se koriste visokoefikasni filteri, ventilatori, vazdušni kanali i drugi uređaji za uklanjanje prašine, bakterija, virusa i drugih zagađivača iz vazduha u zatvorenom prostoru, tako da vazduh dostiže određeni nivo čistoće.
4. Sistem klimatizacije: mora biti u stanju da kontroliše unutrašnju temperaturu, vlažnost i razliku pritiska kako bi zadovoljio zahteve proizvodnog procesa. Istovremeno, treba usvojiti opremu i tehnologiju klimatizacije koja štedi energiju i ekološki prihvatljiva kako bi se smanjili operativni troškovi.
5. Elektrostatička kontrola: proces proizvodnje mikroelektronike je sklon stvaranju statičkog elektriciteta što će uticati na kvalitet proizvoda. Stoga je potrebno poduzeti mjere za eliminaciju statičkog elektriciteta, kao što su korištenje eliminatora statike, postavljanje antistatičkih podova itd.
6. Kontrola buke: Buka bi uticala na radnu efikasnost i zdravlje osoblja, pa je potrebno preduzeti mere za kontrolu buke, kao što je upotreba materijala za zvučnu izolaciju, postavljanje prigušivača itd.
7. Sistem osvetljenja: treba da bude u stanju da obezbedi dovoljnu osvetljenost i ujednačenost da zadovolji zahteve proizvodnog procesa. U isto vrijeme, treba usvojiti opremu i tehnologije za rasvjetu koja štedi energiju i ekološki prihvatljiva kako bi se smanjili operativni troškovi.
8. Upravljanje osobljem i materijalom: ulazak i izlazak osoblja i materijala će se strogo kontrolirati i kontrolirati kako bi se smanjilo unošenje vanjskih zagađivača. U isto vrijeme, osoblje bi trebalo biti obučeno da poboljša svoju svijest o čistoći i operativne vještine.
9. Testiranje i verifikacija: nakon što je čista soba izgrađena, potrebno je izvršiti testiranje i verifikaciju kako bi se osiguralo da performanse čiste sobe ispunjavaju zahtjeve dizajna, što uključuje čistoću zraka, temperaturu, vlažnost, razliku tlaka, statički elektricitet itd.
Zaključno, mikroelektronski inženjering čistih soba je složen sistem koji zahtijeva više faktora. Samo usvajanjem napredne tehnologije i opreme može se izgraditi čista soba koja ispunjava zahtjeve.
Popularni tagovi: mikroelektronika čista soba, Kina mikroelektronika čista soba dobavljači, proizvođači, tvornica, таҙа бүлмә косметик етештереү, таҙа бүлмә баш ҡапҡастары, таҙа бүлмә яҡтыртыу, таҙа бүлмә ярымүткәргес ҡорамалдар етештереү, таҙа бүлмә һаҡлау, таҙа бүлмә лотоктары
